半导体／FPD检查显微镜 规格

MX61L

MX61

光学系统

UIS2光学系统（无限远校正）

机身

观察方法

明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光

反射/透射

反射/透射

照明装置

机身一体型（明视场，暗视场＋1选件）

照明系统

反射照明

100 W卤素/100 W水银/75 W氙

透射照明

纤维光导

对焦单元

电动/手动

手动

行程

32 mm

分辨率/微调灵敏度

微调旋钮转动1周移动0.1 mm

最大样本高度

30 mm

物镜转换器

电动型

明视场微分干涉6孔

明暗视场微分干涉5孔

明暗视场微分干涉6孔

明暗视场微分干涉中心输出5孔

手动式

-

载物台

行程

14×12英寸右下手柄：
356（X）×305（Y）mm
（透射照明范围356×284 mm）

8×8 英寸右下手柄：
210（X）×210（Y）mm
（透射照明范围189×189 mm）
6×6 英寸右下手柄：
158（X）×158（Y）mm

观察筒

广角视场
（视场数22）

倒置

双目/三目观察筒

正像

三目观察筒

超宽视场
（视场数26.5）

倒置

三目观察筒

正像

倾斜三目观察筒

附件单元

DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载

外形尺寸

710（W）×843（D）×507（H）mm
（标准组合）

509（W）×843（D）×507（H）mm
（标准组合）

重量

51 kg（标准组合）

40 kg（标准组合）

半导体／FPD检查显微镜 规格

MX61L

MX61

光学系统

UIS2光学系统（无限远校正）

机身

观察方法

明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光

反射/透射

反射/透射

照明装置

机身一体型（明视场，暗视场＋1选件）

照明系统

反射照明

100 W卤素/100 W水银/75 W氙

透射照明

纤维光导

对焦单元

电动/手动

手动

行程

32 mm

分辨率/微调灵敏度

微调旋钮转动1周移动0.1 mm

最大样本高度

30 mm

物镜转换器

电动型

明视场微分干涉6孔

明暗视场微分干涉5孔

明暗视场微分干涉6孔

明暗视场微分干涉中心输出5孔

手动式

-

载物台

行程

14×12英寸右下手柄：
356（X）×305（Y）mm
（透射照明范围356×284 mm）

8×8 英寸右下手柄：
210（X）×210（Y）mm
（透射照明范围189×189 mm）
6×6 英寸右下手柄：
158（X）×158（Y）mm

观察筒

广角视场
（视场数22）

倒置

双目/三目观察筒

正像

三目观察筒

超宽视场
（视场数26.5）

倒置

三目观察筒

正像

倾斜三目观察筒

附件单元

DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载

外形尺寸

710（W）×843（D）×507（H）mm
（标准组合）

509（W）×843（D）×507（H）mm
（标准组合）

重量

51 kg（标准组合）

40 kg（标准组合）

半导体／FPD检查显微镜 规格

MX61L

MX61

光学系统

UIS2光学系统（无限远校正）

机身

观察方法

明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光

反射/透射

反射/透射

照明装置

机身一体型（明视场，暗视场＋1选件）

照明系统

反射照明

100 W卤素/100 W水银/75 W氙

透射照明

纤维光导

对焦单元

电动/手动

手动

行程

32 mm

分辨率/微调灵敏度

微调旋钮转动1周移动0.1 mm

最大样本高度

30 mm

物镜转换器

电动型

明视场微分干涉6孔

明暗视场微分干涉5孔

明暗视场微分干涉6孔

明暗视场微分干涉中心输出5孔

手动式

-

载物台

行程

14×12英寸右下手柄：
356（X）×305（Y）mm
（透射照明范围356×284 mm）

8×8 英寸右下手柄：
210（X）×210（Y）mm
（透射照明范围189×189 mm）
6×6 英寸右下手柄：
158（X）×158（Y）mm

观察筒

广角视场
（视场数22）

倒置

双目/三目观察筒

正像

三目观察筒

超宽视场
（视场数26.5）

倒置

三目观察筒

正像

倾斜三目观察筒

附件单元

DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载

外形尺寸

710（W）×843（D）×507（H）mm
（标准组合）

509（W）×843（D）×507（H）mm
（标准组合）

重量

51 kg（标准组合）

40 kg（标准组合）

半导体／FPD检查显微镜 规格

MX61L

MX61

光学系统

UIS2光学系统（无限远校正）

机身

观察方法

明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光

反射/透射

反射/透射

照明装置

机身一体型（明视场，暗视场＋1选件）

照明系统

反射照明

100 W卤素/100 W水银/75 W氙

透射照明

纤维光导

对焦单元

电动/手动

手动

行程

32 mm

分辨率/微调灵敏度

微调旋钮转动1周移动0.1 mm

最大样本高度

30 mm

物镜转换器

电动型

明视场微分干涉6孔

明暗视场微分干涉5孔

明暗视场微分干涉6孔

明暗视场微分干涉中心输出5孔

手动式

-

载物台

行程

14×12英寸右下手柄：
356（X）×305（Y）mm
（透射照明范围356×284 mm）

8×8 英寸右下手柄：
210（X）×210（Y）mm
（透射照明范围189×189 mm）
6×6 英寸右下手柄：
158（X）×158（Y）mm

观察筒

广角视场
（视场数22）

倒置

双目/三目观察筒

正像

三目观察筒

超宽视场
（视场数26.5）

倒置

三目观察筒

正像

倾斜三目观察筒

附件单元

DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载

外形尺寸

710（W）×843（D）×507（H）mm
（标准组合）

509（W）×843（D）×507（H）mm
（标准组合）

重量

51 kg（标准组合）

40 kg（标准组合）

半导体／FPD检查显微镜 规格

MX61L

MX61

光学系统

UIS2光学系统（无限远校正）

机身

观察方法

明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光

反射/透射

反射/透射

照明装置

机身一体型（明视场，暗视场＋1选件）

照明系统

反射照明

100 W卤素/100 W水银/75 W氙

透射照明

纤维光导

对焦单元

电动/手动

手动

行程

32 mm

分辨率/微调灵敏度

微调旋钮转动1周移动0.1 mm

最大样本高度

30 mm

物镜转换器

电动型

明视场微分干涉6孔

明暗视场微分干涉5孔

明暗视场微分干涉6孔

明暗视场微分干涉中心输出5孔

手动式

-

载物台

行程

14×12英寸右下手柄：
356（X）×305（Y）mm
（透射照明范围356×284 mm）

8×8 英寸右下手柄：
210（X）×210（Y）mm
（透射照明范围189×189 mm）
6×6 英寸右下手柄：
158（X）×158（Y）mm

观察筒

广角视场
（视场数22）

倒置

双目/三目观察筒

正像

三目观察筒

超宽视场
（视场数26.5）

倒置

三目观察筒

正像

倾斜三目观察筒

附件单元

DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载

外形尺寸

710（W）×843（D）×507（H）mm
（标准组合）

509（W）×843（D）×507（H）mm
（标准组合）

重量

51 kg（标准组合）

40 kg（标准组合）

半导体／FPD检查显微镜 规格

MX61L

MX61

光学系统

UIS2光学系统（无限远校正）

机身

观察方法

明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光

反射/透射

反射/透射

照明装置

机身一体型（明视场，暗视场＋1选件）

照明系统

反射照明

100 W卤素/100 W水银/75 W氙

透射照明

纤维光导

对焦单元

电动/手动

手动

行程

32 mm

分辨率/微调灵敏度

微调旋钮转动1周移动0.1 mm

最大样本高度

30 mm

物镜转换器

电动型

明视场微分干涉6孔

明暗视场微分干涉5孔

明暗视场微分干涉6孔

明暗视场微分干涉中心输出5孔

手动式

-

载物台

行程

14×12英寸右下手柄：
356（X）×305（Y）mm
（透射照明范围356×284 mm）

8×8 英寸右下手柄：
210（X）×210（Y）mm
（透射照明范围189×189 mm）
6×6 英寸右下手柄：
158（X）×158（Y）mm

观察筒

广角视场
（视场数22）

倒置

双目/三目观察筒

正像

三目观察筒

超宽视场
（视场数26.5）

倒置

三目观察筒

正像

倾斜三目观察筒

附件单元

DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载

外形尺寸

710（W）×843（D）×507（H）mm
（标准组合）

509（W）×843（D）×507（H）mm
（标准组合）

重量

51 kg（标准组合）

40 kg（标准组合）

半导体／FPD检查显微镜 规格

MX61L

MX61

光学系统

UIS2光学系统（无限远校正）

机身

观察方法

明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光

反射/透射

反射/透射

照明装置

机身一体型（明视场，暗视场＋1选件）

照明系统

反射照明

100 W卤素/100 W水银/75 W氙

透射照明

纤维光导

对焦单元

电动/手动

手动

行程

32 mm

分辨率/微调灵敏度

微调旋钮转动1周移动0.1 mm

最大样本高度

30 mm

物镜转换器

电动型

明视场微分干涉6孔

明暗视场微分干涉5孔

明暗视场微分干涉6孔

明暗视场微分干涉中心输出5孔

手动式

-

载物台

行程

14×12英寸右下手柄：
356（X）×305（Y）mm
（透射照明范围356×284 mm）

8×8 英寸右下手柄：
210（X）×210（Y）mm
（透射照明范围189×189 mm）
6×6 英寸右下手柄：
158（X）×158（Y）mm

观察筒

广角视场
（视场数22）

倒置

双目/三目观察筒

正像

三目观察筒

超宽视场
（视场数26.5）

倒置

三目观察筒

正像

倾斜三目观察筒

附件单元

DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载

外形尺寸

710（W）×843（D）×507（H）mm
（标准组合）

509（W）×843（D）×507（H）mm
（标准组合）

重量

51 kg（标准组合）

40 kg（标准组合）